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一、特點：
1、一次測量，實現粗糙度、波紋度、輪廓分析
2、實現全範圍内的粗糙度、波紋度測量
3、X向采用數字式傳感器，Z1采用多段式電感傳感器
4、多段式高精度傳感器具有超大量程，較大限度保持了傳感器的原有精度。
5、采用免維護直線運動導軌，精密控制系統。
6、采用高速并行數據采集單元，硬件觸發、硬件高速采樣，無延時；足夠密集及穩定的數據源為後期數據處理、計算提供有力的保障。
二、測量原理
本儀器測量原理為直角坐标測量法，即通過X軸、Z1軸傳感器，測繪出被測零件的表面輪廓的坐标點，通過電器組件，将傳感器所測量的坐标點數據傳輸到上位PC機，軟件對所采集的原始坐标數據進行數學運算處理，标注所需的工程測量項目。
三、測量功能
1、輪廓測量功能：
（1）尺寸：包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑
（2）夾角：包含水平角、垂直角、夾角
（3）位置公差：包含平行度、垂直度
（4）形狀公差：包含直線度、凸度、圓弧
（5）輪廓度輔助生成：包含輔助點、輔助線、輔助圓
2、糙度測量功能：
（1）粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
（2）波紋度參數：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
（3）原始輪廓參數：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
四、技術參數
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序号 |
項目 |
規格 |
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1 |
測量範圍 |
X軸 |
0-200mm可選 |
|
Z軸 |
0-620mm可選 |
||
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Z1軸 |
6mm,2mm |
||
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2 |
線性精度 |
輪廓 |
≤±0.07%f.s.(95mm測杆) |
|
粗糙度 |
≤±(12nm+3%) |
||
五、環境要求
1、室内周圍應無影響測量的灰塵、振動、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強磁場
2、地面震動******RMS： ＜50HZ 2.5μm/s / ＞50HZ 5.0μm/s
3、電源：AC 220V±5% 50Hz 單獨地線
4、功率需求：500W
5、溫度：現場溫度：12～26℃
6、理想溫度：20±2℃ 階梯溫度不超過1℃/h
7、相對濕度：＜85%（無凝露）
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